高分辨率臺式掃描電鏡
光學顯微鏡:放大 20-135 倍; 電子顯微鏡:130,000 倍;
探測器:高靈敏度四分割背散射電子探測器;
燈絲材料:1,500 小時 CeB6 燈絲;
分辨率:優于 14 nm;
放置環境:采用專業防震設計,可擺放于普通實驗室或辦公室、廠房;
加速電壓:5kV-15kV 連續可調;
抽真空時間:小于 15 秒。
技術特點:
自動高亮度電子槍,全數字化高壓電源,0.5KV~30KV范圍內隨意調節;
聚光鏡精細控制 Spot size設置10檔調節;
圓錐形物鏡,具有更高分辨性能;
四孔可變光闌,分別用于高分辨觀察和不同的分析目的;
實時灰度直方圖,自動亮度對比度;
X Y T, 3軸自動樣品臺。
高分辨率臺式掃描電鏡 打破了傳統臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性,利用創新的 雙聚光鏡成像技術,采用大型掃描電鏡成像原理,使用二次電子探測器作為基礎成像單元,從而可以獲得更高的分辨率(<8nm),是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。