掃描電子顯微鏡在繼承了Phenom(飛納)產品操作方便、30秒快速成優質圖像、售后無憂等優點的同時,電鏡分辨率和圖像質量顯著提高。采用了壽命高達1500小時的新一代CeB6燈絲和分辨率更高,功能更全的光學顯微鏡,提高后的光學顯微鏡有聚焦功能,放大倍數在20-120倍之間,具備明場和暗場兩種模式。
掃描式電子顯微鏡的工作原理如下:
樣品準備:待觀察樣品通常需要進行預處理,如表面平整化、金屬涂覆等,以提高導電性并增強圖像清晰度。
掃描:電子束在樣品表面上進行掃描,從而激發出次級電子、反射電子(SE)和背散射電子(BSE)等。
電子源:SEM使用一臺電子槍作為電子源,產生高能電子束。常用的電子源包括熱陰極或場發射陰極。
透鏡系統:電子束經過一系列電磁透鏡的聚焦和控制,以獲取所需的束斑直徑和聚焦深度,從而控制樣品的放大倍數和分辨率。
探測器:根據所采集到的次級電子、反射電子和背散射電子等信息,使用相應的探測器進行信號檢測和轉換。
影像處理:通過對采集到的信號進行放大、濾波和數字化處理,最終生成樣品表面的圖像。
掃描式電子顯微鏡在材料科學、生物學、納米技術、電子電器工程等領域得到廣泛應用。它可以用于研究材料的微觀結構、形貌表征、納米顆粒分析、故障分析、半導體芯片檢測、生物標本觀察等。